Understanding the impact of polysilicon percolative conduction on 3D NAND variability

G. Malavena;M. Giulianini;D. G. Refaldi;C. Monzio Compagnoni;A. Sottocornola Spinelli
2023-01-01

2023
2023 International Conference on Simulation of Semiconductor Processes and Devices, SISPAD 2023
978-4-86348-803-8
sezele
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