Patterning-induced strain relief in single lithographic SiGe nanostructures studied by nanobeam x-ray diffraction

CHRASTINA, DANIEL;VANACORE, GIOVANNI MARIA;BOLLANI, MONICA;SORDAN, ROMAN;ISELLA, GIOVANNI;ZANI, MAURIZIO;TAGLIAFERRI, ALBERTO
2012-01-01

2012
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