Presentiamo un processo per realizzare guide d’onda ad alto contrasto di indice in vetri tellurati cresciuti mediante sputtering su wafer di silicio, ovviando alla solubilità del materiale in soluzioni acquose e minimizzandone la rugosità finale

REALIZZAZIONE DI GUIDE D’ONDA AD ALTO CONTRASTO DI INDICE IN VETRI TELLURATI

PIETRALUNGA, SILVIA MARIA;PICCININ, DAVIDE GIACOMO;CUSMAI, GIUSEPPE;TORREGIANI, MATTEO ALDO;MARTINELLI, MARIO
2009

Abstract

Presentiamo un processo per realizzare guide d’onda ad alto contrasto di indice in vetri tellurati cresciuti mediante sputtering su wafer di silicio, ovviando alla solubilità del materiale in soluzioni acquose e minimizzandone la rugosità finale
Proc. Fotonica 2009 11° Convegno Nazionale delle Tecnologie Fotoniche
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