Presentiamo un processo per realizzare guide d’onda ad alto contrasto di indice in vetri tellurati cresciuti mediante sputtering su wafer di silicio, ovviando alla solubilità del materiale in soluzioni acquose e minimizzandone la rugosità finale
REALIZZAZIONE DI GUIDE D’ONDA AD ALTO CONTRASTO DI INDICE IN VETRI TELLURATI
PIETRALUNGA, SILVIA MARIA;PICCININ, DAVIDE GIACOMO;CUSMAI, GIUSEPPE;TORREGIANI, MATTEO ALDO;MARTINELLI, MARIO
2009-01-01
Abstract
Presentiamo un processo per realizzare guide d’onda ad alto contrasto di indice in vetri tellurati cresciuti mediante sputtering su wafer di silicio, ovviando alla solubilità del materiale in soluzioni acquose e minimizzandone la rugosità finaleFile in questo prodotto:
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