Frontier Group, W. A. Lane et al. eds. ISBN 2-86332-248-6

Accurate Doping Profile Extraction Near the Si/SiO2 Interface with a Novel Low Temperature C-V Technique

LACAITA, ANDREA LEONARDO;PIROVANO, AGOSTINO
2000-01-01

Abstract

Frontier Group, W. A. Lane et al. eds. ISBN 2-86332-248-6
ESSDERC
9782863322482
sezele
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