New Achievements on CVD Based Methods for SiC Epitaxial Growth

	Anno di pubblicazione
	
				2005
			
	Titolo della rivista
	
				MATERIALS SCIENCE FORUM
			
	Appare nelle tipologie:
	
				01.1 Articolo in Rivista

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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/11311/520210

RE.PUBLIC@POLIMI pubblicazioni di ricerca del Politecnico di Milano