VICENTINI FERREIRA DO VALLE, TIAGO
VICENTINI FERREIRA DO VALLE, TIAGO
DIPARTIMENTO DI INGEGNERIA CIVILE E AMBIENTALE
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Characterization of Polysilicon Strength through On-Chip Testing at MEMS Stoppers
2023-01-01 Valle, Tiago Vicentini Ferreira Do; Ghisi, Aldo; Masi, Biagio De; Mariani, Stefano; Rizzini, Francesco; Gattere, Gabriele; Valzasina, Carlo
MEMS Reliability: On-Chip Testing for the Characterization of the Out-of-Plane Polysilicon Strength
2023-01-01 Vicentini Ferreira do Valle, Tiago; Mariani, Stefano; Ghisi, Aldo; De Masi, Biagio; Rizzini, Francesco; Gattere, Gabriele; Valzasina, Carlo