Sensitivity and temperature behavior of a novel z-axis differential resonant micro accelerometer

COMI, CLAUDIA;CORIGLIANO, ALBERTO;LANGFELDER, GIACOMO;ZEGA, VALENTINA;
2016-01-01

2016
MEMS; resonant accelerometer; torsional resonators; Mechanical Engineering; Electrical and Electronic Engineering; Mechanics of Materials; Electronic, Optical and Magnetic Materials
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