Fabrication of mid-infrared plasmonic antennas based on heavily doped germanium thin films

FRIGERIO, JACOPO;SAKAT, EMILIE GEORGETTE SIMONE MIRNA;FINAZZI, MARCO;ISELLA, GIOVANNI;BIAGIONI, PAOLO;
2016-01-01

2016
Antenna; Electron beam; Etching; Germanium; Mid-infrared; Plasmonic; Resonance; Semiconductors; Electronic, Optical and Magnetic Materials; Materials Chemistry2506 Metals and Alloys; 2506; Surfaces, Coatings and Films; Surfaces and Interfaces
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