Effect of stators geometry on the resonance sensitivity of capacitive MEMS

FRANGI, ATTILIO ALBERTO;LAGHI, GIACOMO;MINOTTI, PAOLO;LANGFELDER, GIACOMO
2015-01-01

2015
Procedia Engineering
File in questo prodotto:
File Dimensione Formato  
Procedia_Eurosensors2015_Laghi_final.pdf

accesso aperto

: Post-Print (DRAFT o Author’s Accepted Manuscript-AAM)
Dimensione 833.85 kB
Formato Adobe PDF
833.85 kB Adobe PDF Visualizza/Apri

I documenti in IRIS sono protetti da copyright e tutti i diritti sono riservati, salvo diversa indicazione.

Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/11311/964967
Citazioni
  • ???jsp.display-item.citation.pmc??? ND
  • Scopus 4
  • ???jsp.display-item.citation.isi??? 2
social impact