Una struttura micromeccanica (1), per un accelerometro capacitivo triassiale MEMS (32), è dotata di: un substrato (26); una singola massa inerziale (4) avente un’estensione principale in un piano (xy), e disposta sospesa al di sopra del substrato (26); un elemento di cornice (6) accoppiato elasticamente alla massa inerziale (4) mediante elementi elastici di accoppiamento (8a, 8b), e ad ancoraggi (12a- 12d), solidali al substrato (26), mediante elementi elastici di ancoraggio (14a-14d). Gli elementi elastici di accoppiamento (8a, 8b) e gli elementi elastici di ancoraggio (14a-14d) sono configurati in modo da consentire un primo movimento inerziale della massa inerziale (4) in risposta ad una prima accelerazione esterna (ax, ay) agente in una direzione giacente nel piano (xy), ed inoltre un secondo movimento inerziale della massa inerziale (4) in risposta ad una seconda accelerazione esterna (az) agente in una direzione trasversale al piano (xy).
ACCELEROMETRO CAPACITIVO TRIASSIALE MICROELETTROMECCANICO
FRANGI, ATTILIO ALBERTO;
2010-01-01
Abstract
Una struttura micromeccanica (1), per un accelerometro capacitivo triassiale MEMS (32), è dotata di: un substrato (26); una singola massa inerziale (4) avente un’estensione principale in un piano (xy), e disposta sospesa al di sopra del substrato (26); un elemento di cornice (6) accoppiato elasticamente alla massa inerziale (4) mediante elementi elastici di accoppiamento (8a, 8b), e ad ancoraggi (12a- 12d), solidali al substrato (26), mediante elementi elastici di ancoraggio (14a-14d). Gli elementi elastici di accoppiamento (8a, 8b) e gli elementi elastici di ancoraggio (14a-14d) sono configurati in modo da consentire un primo movimento inerziale della massa inerziale (4) in risposta ad una prima accelerazione esterna (ax, ay) agente in una direzione giacente nel piano (xy), ed inoltre un secondo movimento inerziale della massa inerziale (4) in risposta ad una seconda accelerazione esterna (az) agente in una direzione trasversale al piano (xy).I documenti in IRIS sono protetti da copyright e tutti i diritti sono riservati, salvo diversa indicazione.
