LARGE FULL SCALE, LINEARITY AND CROSS-AXIS REJECTION IN LOW-POWER 3-AXIS GYROSCOPES BASED ON NANOSCALE PIEZORESISTORS

DELLEA, STEFANO;GIACCI, FEDERICO;LONGONI, ANTONIO FRANCESCO;LANGFELDER, GIACOMO
2015-01-01

2015
2015 28TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2015)
9781479979554
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