RE.PUBLIC@POLIMI pubblicazioni di ricerca del Politecnico di Milano

INVESTIGATION OF THE FATIGUE ORIGIN AND PROPAGATION IN SUBMICROMETRIC SILICON PIEZORESISTIVE LAYERS

LANGFELDER, GIACOMO;DELLEA, STEFANO;LONGONI, ANTONIO FRANCESCO
2014-01-01
2014
2014 IEEE 27TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS)
9781479935086
04.1 Contributo in Atti di convegno
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