Maskless, fast and highly selective etching of fused silica with gaseous fluorine and gaseous hydrogen fluoride

VENTURINI, FRANCESCO;MARTINEZ VAZQUEZ, REBECA;OSELLAME, ROBERTO;CERULLO, GIULIO NICOLA;SANSOTERA, MAURIZIO;NAVARRINI, WALTER MAURIZIO
2014-01-01

2014
micromachining; silica; etching; fluorine; hydrogen fluoride
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