Sensore microelettromeccanico con massa di rilevamento non conduttiva e metodo di rilevamento mediante un sensore microelettromeccanico

La presente invenzione è relativa a un sensore microelettromeccanico (MEMS) con massa di rilevamento non conduttiva e metodo di rilevamento basato su un sensore microelettromeccanico. Generalmente i sensori MEMS utilizzano masse conduttive a cui sono fissati un insieme di elettrodi e il cui spostamento viene rilevato come variazione di capacità tra un sistema di elettrodi fissi e gli elettrodi mobili connessi alla massa. La presente invenzione utilizza invece una massa e un sistema di elettrodi ad essa fissati costituiti da materiale non conduttivo (ad esempio semiconduttori non drogati, o materiali non conduttivi dell’industria microelettronica). Il movimento della massa dielettrica all’interno di una serie di elettrodi fissi opportunamente connessi produce una variazione di capacità proporzionale al movimento della massa stessa e alla costante dielettrica del materiale utilizzato. I vantaggi della nuova tecnica di trasduzione sono principalmente: - aumento della sensibilità del dispositivo; - alta tensione di pull-in (tensione massima applicabile tra gli elettrodi); - miglioramento della linearità; - riduzione dell’area occupata dal dispositivo. La possibilità di industrializzazione dell’invenzione è la stessa degli altri sensori MEMS con alcune modifiche al processo di produzione Thelma.