RE.PUBLIC@POLIMI Research Publications at Politecnico di Milano
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EnglishThe present disclosure relates to an acceleration and angular-velocity resonant detection integrated structure, and to a related sensor device of a so-called MEMS (microlectromechanical system) type
| Titolo: | ACCELERATION AND ANGULAR VELOCITY RESONANT DETECTION INTEGRATED STRUCTURE, AND RELATED MEMS SENSOR DEVICE | |
| Autori: | ||
| Data di pubblicazione: | 2013 | |
| Abstract: | The present disclosure relates to an acceleration and angular-velocity resonant detection integrated structure, and to a related sensor device of a so-called MEMS (microlectromechanical system) type | |
| Handle: | http://hdl.handle.net/11311/758902 | |
| Appare nelle tipologie: | 05.1 Brevetto |
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| File | Descrizione | Tipologia | Licenza | |
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