Micromanufacturing in fused silica via femtosecond laser irradiation followed by gas-phase chemical etching

VENTURINI, FRANCESCO;SANSOTERA, MAURIZIO;OSELLAME, ROBERTO;CERULLO, GIULIO NICOLA;NAVARRINI, WALTER MAURIZIO
2012-01-01

2012
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Micromachines, 3(2012)604-614.pdf

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