L'invenzione si riferisce ad una struttura integrata di rilevamento risonante di accelerazione e velocità angolare, e ad un relativo dispositivo sensore di tipo microelettromeccanico (cosiddetto “MEMS” - Micro Electro Mechanical System).
Titolo: | Struttura integrata di rilevamento risonante di accelerazione e velocità angolare e relativo dispositivo sensore MEMS | |
Autori: | ||
Data di pubblicazione: | 2012 | |
Abstract: | L'invenzione si riferisce ad una struttura integrata di rilevamento risonante di accelerazione e velocità angolare, e ad un relativo dispositivo sensore di tipo microelettromeccanico (cosiddetto “MEMS” - Micro Electro Mechanical System). | |
Handle: | http://hdl.handle.net/11311/733177 | |
Appare nelle tipologie: | 05.1 Brevetto |
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