L'invenzione si riferisce ad una struttura integrata di rilevamento risonante di accelerazione e velocità angolare, e ad un relativo dispositivo sensore di tipo microelettromeccanico (cosiddetto “MEMS” - Micro Electro Mechanical System).
Struttura integrata di rilevamento risonante di accelerazione e velocità angolare e relativo dispositivo sensore MEMS
CORIGLIANO, ALBERTO;COMI, CLAUDIA;
2012-01-01
Abstract
L'invenzione si riferisce ad una struttura integrata di rilevamento risonante di accelerazione e velocità angolare, e ad un relativo dispositivo sensore di tipo microelettromeccanico (cosiddetto “MEMS” - Micro Electro Mechanical System).File in questo prodotto:
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