RE.PUBLIC@POLIMI pubblicazioni di ricerca del Politecnico di Milano

Elastic properties of sputtered thin films: influence of different preparation conditions

BOTTANI, CARLO ENRICO;BEGHI, MARCO;OSSI, PAOLO MARIA
1993-01-01
1993
M1 -Thin fims: Stress and mechanical properties IV
elastic properties; thin films
04.1 Contributo in Atti di convegno
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