RE.PUBLIC@POLIMI pubblicazioni di ricerca del Politecnico di Milano

Elastic properties of sputtered thin films- Influence of different preparation conditions.

BOTTANI, CARLO ENRICO;BEGHI, MARCO;OSSI, PAOLO MARIA
1993-01-01
1993
Thin Films: Stresses and mechanical properties
1558992049
02.1 Contributo in Volume
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