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EnglishLa presente invenzione si riferisce ad una struttura di accelerometro risonante di tipo MEMS in grado di misurare l’accelerazione fuori piano. Il dispositivo può essere ottenuto mediante la tecnologia esistente del “surface micromachining”. Questo elemento meccanico, abbinato ad un opportuno circuito elettronico, permette la realizzazione di accelerometri di dimensioni molto ridotte, potenzialmente inferiori a quelle di accelerometri capacitivi ottenuti con la stessa tecnologia.
| Titolo: | Struttura di rilevamento perfezionata per un accelerometro risonante ad asse z. | |
| Autori: | ||
| Data di pubblicazione: | 2011 | |
| Abstract: | La presente invenzione si riferisce ad una struttura di accelerometro risonante di tipo MEMS in grado di misurare l’accelerazione fuori piano. Il dispositivo può essere ottenuto mediante la tecnologia esistente del “surface micromachining”. Questo elemento meccanico, abbinato ad un opportuno circuito elettronico, permette la realizzazione di accelerometri di dimensioni molto ridotte, potenzialmente inferiori a quelle di accelerometri capacitivi ottenuti con la stessa tecnologia. | |
| Handle: | http://hdl.handle.net/11311/616905 | |
| Appare nelle tipologie: | 05.1 Brevetto |
File in questo prodotto:
| File | Descrizione | Tipologia | Licenza | |
|---|---|---|---|---|
| DF__Dip.DIS.00x.C_Comi-Corigliano_TTO_MOD.09.011___Agg.1_del_120111-accelerometro riso assez.pdf | Pre-Print (o Pre-Refereeing) | Accesso riservato | Accesso riservato |
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