Selective Iterative Etching of Fused Silica with Gaseous Hydrofluoric Acid
Selective Iterative Etching of Fused Silica with Gaseous Hydrofluoric Acid
NAVARRINI, WALTER MAURIZIO;RESNATI, GIUSEPPE;MARTINEZ VAZQUEZ, REBECA;OSELLAME, ROBERTO;CERULLO, GIULIO NICOLA
2010-01-01
Abstract
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