La presente invenzione si riferisce ad una struttura di accelerometro risonante di tipo MEMS in grado di misurare due componenti indipendenti di accelerazione nel piano. Il dispositivo può essere ottenuto mediante la tecnologia esistente del “surface micromaching”. Questo elemento meccanico, abbinato ad un opportuno circuito elettronico, permette la realizzazione di accelerometri di dimensioni molto ridotte, potenzialmente inferiori a quelle di accelerometri capacitivi ottenuti con la stessa tecnologia.
Resonant biaxial accelerometer structure of the microelectromechanical type
COMI, CLAUDIA;CORIGLIANO, ALBERTO;
2010-01-01
Abstract
La presente invenzione si riferisce ad una struttura di accelerometro risonante di tipo MEMS in grado di misurare due componenti indipendenti di accelerazione nel piano. Il dispositivo può essere ottenuto mediante la tecnologia esistente del “surface micromaching”. Questo elemento meccanico, abbinato ad un opportuno circuito elettronico, permette la realizzazione di accelerometri di dimensioni molto ridotte, potenzialmente inferiori a quelle di accelerometri capacitivi ottenuti con la stessa tecnologia.File in questo prodotto:
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