In-Plane and Out-of-Plane MEMS Motion Sensors Based on Fringe Capacitances
TOCCHIO, ALESSANDRO;LANGFELDER, GIACOMO;LONGONI, ANTONIO FRANCESCO;
2010-01-01
File in questo prodotto:
File | Dimensione | Formato | |
---|---|---|---|
Proc_01_EuroSensors2010.pdf
Accesso riservato
:
Post-Print (DRAFT o Author’s Accepted Manuscript-AAM)
Dimensione
574.86 kB
Formato
Adobe PDF
|
574.86 kB | Adobe PDF | Visualizza/Apri |
I documenti in IRIS sono protetti da copyright e tutti i diritti sono riservati, salvo diversa indicazione.