La presente invenzione si riferisce ad una nuova struttura di accelerometro risonante di tipo MEMS in grado di misurare accelerazioni nel piano. Il dispositivo può essere ottenuto mediante la tecnologia esistente del “surface micromaching” e può essere pertanto facilmente industrializzabile. Il design meccanico è totalmente nuovo: in particolare la presenza di due risonatori soggetti ad azione assiale di segno opposto per assegnata accelerazione esterna permette la lettura del dispositivo anche in presenza di uno stato di coazione generato ad esempio da una variazione termica ed aumenta la sensitività dell’accelerometro. Questo elemento meccanico, abbinato ad un opportuno circuito elettronico, permette la realizzazione di accelerometri di dimensioni molto ridotte, potenzialmente inferiori a quelle di accelerometri capacitivi ottenuti con la stessa tecnologia.

Accelerometro risonante MEMS con migliorate caratteristiche elettriche

COMI, CLAUDIA;CORIGLIANO, ALBERTO;
2009

Abstract

La presente invenzione si riferisce ad una nuova struttura di accelerometro risonante di tipo MEMS in grado di misurare accelerazioni nel piano. Il dispositivo può essere ottenuto mediante la tecnologia esistente del “surface micromaching” e può essere pertanto facilmente industrializzabile. Il design meccanico è totalmente nuovo: in particolare la presenza di due risonatori soggetti ad azione assiale di segno opposto per assegnata accelerazione esterna permette la lettura del dispositivo anche in presenza di uno stato di coazione generato ad esempio da una variazione termica ed aumenta la sensitività dell’accelerometro. Questo elemento meccanico, abbinato ad un opportuno circuito elettronico, permette la realizzazione di accelerometri di dimensioni molto ridotte, potenzialmente inferiori a quelle di accelerometri capacitivi ottenuti con la stessa tecnologia.
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