RE.PUBLIC@POLIMI pubblicazioni di ricerca del Politecnico di Milano

A Wide Pressure Range Estimate of Gas Damping in Polysilicon Inertial MEMS Devices

FRANGI, ATTILIO ALBERTO;GHISI, ALDO FRANCESCO
2008-01-01
2008
EuroSimE2008,9th Int. Conf. on thermal, mechanical and multiphisics simulation and experiments in MEMS
9781424421275
04.1 Contributo in Atti di convegno
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