Comparison of Capacitive and Feedback-Interferometric Measurements on MEMS
NORGIA, MICHELE
2001-01-01
File in questo prodotto:
File | Dimensione | Formato | |
---|---|---|---|
2001 IEEE JMEMS.pdf
Accesso riservato
:
Post-Print (DRAFT o Author’s Accepted Manuscript-AAM)
Dimensione
182 kB
Formato
Adobe PDF
|
182 kB | Adobe PDF | Visualizza/Apri |
I documenti in IRIS sono protetti da copyright e tutti i diritti sono riservati, salvo diversa indicazione.