2D and 1D modeling of AMT barrel reactors for silicon deposition

MASI, MAURIZIO;CAVALLOTTI, CARLO ALESSANDRO;DI MUZIO, FAUSTO;CARRA', SERGIO;
1999-01-01

1999
File in questo prodotto:
Non ci sono file associati a questo prodotto.

I documenti in IRIS sono protetti da copyright e tutti i diritti sono riservati, salvo diversa indicazione.

Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/11311/516390
Citazioni
  • ???jsp.display-item.citation.pmc??? ND
  • Scopus 0
  • ???jsp.display-item.citation.isi??? ND
social impact