RE.PUBLIC@POLIMI pubblicazioni di ricerca del Politecnico di Milano

Gas phase and surface kinetics of silicon chemical vapor deposition from silane and chlorosilanes

MASI, MAURIZIO;CAVALLOTTI, CARLO ALESSANDRO;
2001-01-01
2001
Silicon-Based Materials and Devices
9780125139090
02.1 Contributo in Volume
File in questo prodotto:
Non ci sono file associati a questo prodotto.

I documenti in IRIS sono protetti da copyright e tutti i diritti sono riservati, salvo diversa indicazione.

Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/11311/508604
Citazioni
  • ???jsp.display-item.citation.pmc??? ND
  • Scopus ND
  • ???jsp.display-item.citation.isi??? ND
social impact