RE.PUBLIC@POLIMI pubblicazioni di ricerca del Politecnico di Milano

Simulation of epitaxial silicon deposition and dopant incorporation in a industrial barrel reactor

CARRA', SERGIO;DI STANISLAO, MARCO SANTE;FASCELLA, SIMONE;MASI, MAURIZIO;VALENTE, GIANLUCA;
2003-01-01
2003
Chemical Vapor Deposition XVI and EUROCVD 14
9781566773782
02.1 Contributo in Volume
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