METODO PER COMPENSARE NON LINEARITÀ MECCANICHE E DELETTRICHE DI OSCILLATORI BASATI SU DISPOSITIVI MEMS E RELATIVO SISTEMA MEMS

Un sistema include un oscillatore microelettromeccanico e un’unità elettronica di elaborazione. L’oscillatore include: un dispositivo, comprendente una struttura mobile e oscillante a una 5 frequenza di lavoro (fW); un circuito di sostegno, configurato per sostenere oscillazioni del dispositivo; un terminale di compensazione, capacitivamente accoppiato alla struttura mobile e configurato per applicare un segnale di compensazione (VTUNE) alla struttura mobile; e un terminale di modulazione, cooperante con il circuito di sostegno per controllare un’ampiezza delle oscillazioni. L’unità elettronica di elaborazione è configurata per: applicare al terminale di modulazione un segnale di modulazione (VMOD); generare, a partire da 15 un segnale di uscita (VOUT) dell’oscillatore, un segnale di lettura (VM) indicativo di una variazione di frequenza (Δf) rispetto alla frequenza di lavoro (fW); demodulare il segnale di lettura (VM) impiegando il segnale di modulazione (VMOD), ottenendo un segnale di errore (VERR) indicativo di una differenza di fase tra il segnale di modulazione (VMOD) e il segnale di lettura (VM); e generare il segnale di compensazione (VTUNE) da un confronto tra il segnale di errore (VERR) con un segnale di riferimento (VREF).