RE.PUBLIC@POLIMI pubblicazioni di ricerca del Politecnico di Milano

Compact Mems Temperature Sensor Exploiting A Dual-Mode Polysilicon Resonator And Phase-Locked-Loop Multiplication

Frigerio P.;Fagnani A.;Zega V.;Frangi A.;Langfelder G.
2023-01-01
2023
2023 22nd International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, Transducers 2023
04.1 Contributo in Atti di convegno
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