0.018 °/√hr, SUB-0.2 °/hr MEMS Pitch/Roll Piezoresistive Gyroscope with Decoupled Tilt of the Mass and of the Gauges Lever

Gadola, Marco;Buffoli, Andrea;Langfelder, Giacomo
2024-01-01

2024
2024 IEEE 37TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, MEMS
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