ON-MEMS-CHIP Compact Temperature Sensor for Large-Volume, Low-Cost Sensor Calibration

Frigerio, Paolo;Fagnani, Andrea;Zega, Valentina;Frangi, Attilio;Langfelder, Giacomo
2023-01-01

2023
2023 IEEE 36th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)
978-1-6654-9308-6
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