Closed-Loop Control of Quasi-Static Scanning PZT Micromirrors with Embedded Piezoresistive Sensing and Spurious Mode Rejection

Frigerio, Paolo;Langfelder, Giacomo
2021

2021 21st International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers)
978-1-6654-1267-4
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