RE.PUBLIC@POLIMI pubblicazioni di ricerca del Politecnico di Milano

Mitigating Hysteresis Effects in Open-Loop-Driven PZT MEMS Micromirrors with Piezoresistive Sensing

Frigerio, Paolo;Gianollo, Matteo;Pezzi, Giovanni;Langfelder, Giacomo
2021-01-01
2021
2021 21st International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers)
978-1-6654-1267-4
04.1 Contributo in Atti di convegno
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