RE.PUBLIC@POLIMI pubblicazioni di ricerca del Politecnico di Milano

Modeling and experimental verification of the impact of noise sources on projection accuracy of MEMS linear micromirrors for raster scanning applications

Frigerio, Paolo;Langfelder, Giacomo
2021-01-01
2021
Proceedings, MOEMS and Miniaturized Systems XX
9781510642294
9781510642300
04.1 Contributo in Atti di convegno
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