Out-of-Plane Comb-Fingers for a Low-Noise, 0.12-MM2 Z-Axis Accelerometer Fabricated with a 3D MEMS Process

Maspero F.;Langfelder G.;
2019

Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)
978-1-7281-1610-5
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