Polysilicon MEMS Resonator for 28-MHz Oscillators

Mussi G.;Langfelder G.;Gattere G.
2019-01-01

2019
IFCS/EFTF 2019 - Joint Conference of the IEEE International Frequency Control Symposium and European Frequency and Time Forum, Proceedings
978-1-5386-8305-7
clock; MEMS; oscillator; phase noise
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