Resonators for real-time clocks based on epitaxial polysilicon process: A feasibility study on system-level compensation of temperature drifts

Mussi, Giorgio;BESTETTI, MARCO;Zega, Valentina;Frangi, Attilio;Gattere, Gabriele;Langfelder, Giacomo
2018-01-01

2018
2018 IEEE MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS)
978-1-5386-4782-0
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