100 nT/√Hz, 0.5 mm2 monolithic, multi-loop low-power 3-axis MEMS magnetometer

Marra, Cristiano R.;Laghi, Giacomo;GADOLA, MARCO;Gattere, Gabriele;Tocchio, Alessandro;Langfelder, Giacomo
2018

2018 IEEE MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS)
978-1-5386-4782-0
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