Mechanical design of a fully-differential triaxial Frequency Modulated (FM) MEMS gyroscope

C. Comi;A. Corigliano;G. Langfelder;P. Minotti;V. Zega
2017

AIMETA 2017 - Proceedings of the XXIII Conference of the Italian Association of Theoretical and Applied Mechanics
978-889-42484-7-0
MEMS gyroscopes
Frequency Modulation
Mechanical Design
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