La presente invenzione riguarda un giroscopio triassiale MEMS a modulazione di frequenza (FM) totalmente differenziale. La struttura meccanica del giroscopio è costituita da due masse inerziali che possono traslare rispetto al substrato nelle tre direzioni. La stessa struttura meccanica può essere impiegata per un giroscopio biassiale (pitch-roll o roll-yaw o yaw-pitch) a modulazione di ampiezza (AM), totalmente differenziale.

GIROSCOPIO TRIASSIALE MEMS A MODULAZIONE DI FREQUENZA

COMI, CLAUDIA;ZEGA, VALENTINA;
2016

Abstract

La presente invenzione riguarda un giroscopio triassiale MEMS a modulazione di frequenza (FM) totalmente differenziale. La struttura meccanica del giroscopio è costituita da due masse inerziali che possono traslare rispetto al substrato nelle tre direzioni. La stessa struttura meccanica può essere impiegata per un giroscopio biassiale (pitch-roll o roll-yaw o yaw-pitch) a modulazione di ampiezza (AM), totalmente differenziale.
MEMS, 3D gyroscope, frequency modulation
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