ACCELEROMETRIC SENSOR IN MEMS TECHNOLOGY HAVING HIGH ACCURACY AND LOW SENSITIVITY TO TEMPERATURE AND AGEING (SENSORE ACCELEROMETRICO REALIZZATO IN TECNOLOGIA MEMS AVENTE ELEVATA ACCURATEZZA E RIDOTTA SENSIBILITÀ NEI CONFRONTI DELLA TEMPERATURA E DELL'INVECCHIAMENTO)
TOCCHIO, ALESSANDRO;LANGFELDER, GIACOMO
2016-01-01
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