Ultra-low-voltage gyroscopes based on piezoresistive NEMS for drive-motion and coriolis-motion sensing

DELLEA, STEFANO;LANGFELDER, GIACOMO
2017-01-01

30TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS (MEMS 2017)
Circuit stability;Gyroscopes;Micromechanical devices;Nanoelectromechanical systems;Piezoresistance;Sensors;Springs
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