La presente invenzione si riferisce ad una struttura di accelerometro risonante di tipo MEMS in grado di misurare l’accelerazione fuori piano. Il dispositivo può essere ottenuto mediante la tecnologia esistente del “surface micromachining”. Questo elemento meccanico, abbinato ad un opportuno circuito elettronico, permette la realizzazione di accelerometri di dimensioni molto ridotte, potenzialmente inferiori a quelle di accelerometri capacitivi ottenuti con la stessa tecnologia.
Struttura di rilevamento perfezionata per un accelerometro risonante ad asse z.
COMI, CLAUDIA;CORIGLIANO, ALBERTO;
2011-01-01
Abstract
La presente invenzione si riferisce ad una struttura di accelerometro risonante di tipo MEMS in grado di misurare l’accelerazione fuori piano. Il dispositivo può essere ottenuto mediante la tecnologia esistente del “surface micromachining”. Questo elemento meccanico, abbinato ad un opportuno circuito elettronico, permette la realizzazione di accelerometri di dimensioni molto ridotte, potenzialmente inferiori a quelle di accelerometri capacitivi ottenuti con la stessa tecnologia.File in questo prodotto:
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